3-2海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备(上海)股份有限公司向特定对象发行股票之上市保荐书

海通证券股份有限公司
关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司
2024 年度向特定对象发行 A 股股票
之
上市保荐书
保荐机构（主承销商）
（上海市广东路 689 号）
二〇二四年十一月

声 明
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）及其保荐代表人已根据《中华人民共和国公司法》（以下简称《公司法》）、《中华人民共和国证券法》（以下简称《证券法》）、《上市公司证券发行注册管理办法》（以下简称《注册管理办法》）等法律法规和中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）及上海证券交易所的有关规定，诚实守信，勤勉尽责，严格按照依法制定的业务规则和行业自律规范出具上市保荐书，并保证所出具文件真实、准确、完整。
如无特殊说明，本上市保荐书中的简称或名词释义与《盛美半导体设备（上海）股份有限公司 2024 年度向特定对象发行 A 股股票募集说明书》一致。

目 录

一、发行人基本情况...... 3
二、发行人本次发行情况...... 15
三、本次证券发行上市的项目保荐代表人、协办人及项目组其他成员情况
...... 18
四、保荐机构是否存在可能影响公正履行保荐职责情形的说明...... 19
五、保荐机构承诺事项...... 19
六、本次证券发行上市履行的决策程序...... 21
七、保荐机构关于符合国家产业政策和板块定位的核查情况...... 22
八、本次向特定对象发行股票符合规定...... 23
九、保荐机构对发行人持续督导工作的安排...... 28
十、保荐机构和保荐代表人联系方式...... 28
十一、保荐机构认为应当说明的其他事项...... 29
十二、保荐机构对本次股票上市的推荐结论...... 29
一、发行人基本情况
（一）发行人基本信息
中文名称 盛美半导体设备（上海）股份有限公司
英文名称 ACM Research（Shanghai）,Inc.
法定代表人 HUI WANG
股票上市地 上海证券交易所
股票简称 盛美上海
股票代码 688082
上市时间 2021 年 11 月 18 日
总股本 43,615.3563 万股
公司住所 中国（上海）自由贸易试验区丹桂路 999 弄 5、6、7、8 号全幢
邮政编码 201203
电话号码 021-50808868
传真号码 021-50808860
公司网址 www.acmrcsh.com.cn
电子信箱 ir@acmrcsh.com
一般项目：半导体器件专用设备制造；电子专用设备制造；机械零
件、零部件加工；半导体器件专用设备销售；电子专用设备销售；
经营范围 专用设备修理；专业设计服务；技术服务、技术开发、技术咨询、
技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；技术进出口。（除
依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
（二）发行人的主营业务
公司主要从事对集成电路制造行业至关重要的半导体清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、涂胶显影 Track 设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD 设备、无应力抛光设备、后道先进封装设备以及硅材料衬底制造工艺设备等的开发、制造和销售，并致力于为半导体制造商提供定制化、高性能、低消耗的工艺解决方案，有效提升客户多个步骤的生产效率、产品良率，并降低生产成本。
公司的主要产品包括前道半导体工艺设备、后道先进封装工艺设备以及硅材料衬底制造工艺设备，通过多年的技术研发，公司在上述产品领域均掌握了相关核心技术，并在持续提高设备工艺性能、产能，提升客户产品良率和降低客户成
本等方面不断进行创新。这些核心技术均在公司销售的产品中得以持续应用并形成公司产品的竞争力。
国家集成电路创新中心和上海集成电路研发中心有限公司于 2020 年 6 月 20
日对公司的核心技术进行了评估，并出具了《关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司核心技术的评估》，盛美上海的核心技术主要应用于半导体清洗设备、无应力抛光设备和电镀铜设备。公司核心技术均为盛美上海自主研发取得，与国内外知名设备厂商相比，SAPS 兆声波清洗技术、TEBO 兆声清洗技术、单晶圆槽式组合 Tahoe 高温硫酸清洗技术、无应力抛光技术、多阳极电镀技术等核心技术已达到国际领先或国际先进的水平。公司 2022 至 2024 年推出的多款拥有自主知识产权的新设备、新工艺，包括立式炉管设备、涂胶显影设备、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备，核心技术均来源于自主研发，部分核心技术已达到国内领先或国际领先的水平。
在研发成果方面，持续的研发投入也为公司积累了大量技术成果。截至 2024
年 9 月 30 日，公司及控股子公司拥有已获授予专利权的主要专利 466 项，其中
境内授权专利 176 项，境外授权专利 290 项，发明专利共计 464 项。伴随着近年
研发成果与产业的深度融合，公司连续多年被评为“中国半导体设备五强企业”，曾入选首批上海市科学技术委员会颁发的企业重点实验室，SAPS 兆声波清洗技术荣获 2020 年上海市科技进步一等奖。此外，公司被评为国家“专精特新”企业。
（三）发行人主要财务数据和财务指标
1、资产负债表主要数据
单位：万元
项目 2024 年 2023 年 2022 年 2021 年
9 月 30 日 12 月 31 日 12 月 31 日 12 月 31 日
流动资产 894,282.53 758,935.44 630,012.04 580,725.02
非流动资产 242,306.56 216,444.33 187,544.37 53,016.32
资产 1,136,589.09 975,379.77 817,556.40 633,741.34
流动负债 340,496.52 287,851.96 239,653.93 126,461.66
非流动负债 77,935.64 41,701.24 25,499.15 25,783.58
负债 418,432.16 329,553.20 265,153.08 152,245.23

归属于母公司 718,156.93 645,826.57 552,403.33 481,496.11
所有者权益
2、利润表主要数据
单位：万元
项目 2024 年 1-9 月 2023 年度 2022 年度 2021 年度
营业收入 397,666.18 388,834.27 287,304.55 162,086.91
营业成本 204,934.20 186,679.93 146,811.93 93,144.04
营业利润 80,288.33 96,390.44 71,675.63 26,795.66
利润总额 80,300.96 96,381.48 71,669.63 26,874.38
净利润 75,818.45 91,052.20 66,848.69 26,624.82
归属于母公司所有者的净利润 75,818.45 91,052.20 66,848.69 26,624.82
3、现金流量表主要数据
单位：万元
项目 2024 年 1-9 月 2023 年度 2022 年度 2021 年度
经营活动产生的现金流量净额 56,737.28 -42,696.37 -26,871.58 -18,918.28
投资活动产生的现金流量净额 -31,798.87 54,221.82 -188,441.40 -6,959.79
筹资活动产生的现金流量净额 24,197.57 -16,377.71 27,297.24 339,474.49
汇率变动对现金及现金等价物 -728.56 947.99 4,001.16 -470.16
的影响
现金及现金等价物净增加额 48,407.42 -3,904.26 -184,014.57 313,126.26
4、非经常性损益明细表
单位：万元
项目 2024 年 2023 年度 2022 年度 2021 年度
1-9 月
非流动性资产处置损益 -0.21 -1.11 -5.63 -
计入当期损益的政府补助（与公司正
常经营业务密切相关、符合国家政策 538.41 1,492.58 2,022.67 7,655.03
规定、按照确定的标准享有、对公司
损益产生持续影响的政府补助除外）
除同公司正常经营业务相关的有效套
期保值业务外，非金融企业持有金融
资产和金融负债产生的公允价值变动 249.43 3,499.18 -4,500.03 391.71
损益以及处置金